歡迎進入上海茂虹等離子技術有限公司官方網站
021-69927521 
當前位置：
真空微波等離子清洗機CM-XAS
產品特點
產品特點
①無損傷等離子清洗
②可清洗小空洞和縫隙
③清洗溫度低
④易于操作的圖形化界面
⑤無電極濺射污染
高效桌面型系統，適用于研發和小批量生產，PLC圖形化觸控操作系統
技術參數
| 型號 |
CM-XAS |
| 外形尺寸 | W880*H620*D720mm |
| 腔體內部尺寸 | W225*H225*D225mm |
| 微波功率 | 2.45GHz，100-500W可調 |
| 工藝氣路 | 標準2路，包括質量流量計和控制電磁閥等 |
| 真空接口 | KF25/KF40 |
| 電源 | 380V,50/60Hz 3.3kw含真空泵 |
| 控制單元 | 觸摸屏PLC控制 |
| 真空規 | Pirani真空計 |
| 主要應用 | 材料表面有機污染物去除、表面活化、氧化物還原、光刻膠底膜去除以及表面聚合涂層等 |
選件
*真空系統 *軟啟動和慢速充氣
*額外工藝氣路 *法拉第網
*清洗擱架 其他定制選件
*頂/側裝微波源
點擊放大掃一掃