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20L進口射頻低壓真空等離子清洗機

產品特點

※金俊虹C-20AS-13.56等離子表面處理設備通過產生所帶來的能量大于聚合物材料表面分子結合鏈能的低溫等離子粒子來撞擊材料表面。材料經等離子體撞擊處理后發生多種的物理、化學變化,從而實現材料表面的親和性改性原理而設計制造的;

金俊虹C-20AS-13.56等離子表面處理設備適用于各種幾何形狀,表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、高分子材料等物件表面進行360度超清洗和表面改性處理。

金俊虹C-20AS-13.56等離子表面處理設備操作簡便;工藝參數可設置,修改,處理過程自動控制;使用成本低,易于維護;

金俊虹C-20AS-13.56等離子表面處理設備處理時間短、等離子輝光均勻穩定,處理效果好;

金俊虹C-20AS-13.56等離子表面處理設備具備工藝參數記錄系統和故障報警查詢功能,安全穩定可靠;

產品詳細介紹

一、工作原理

金俊虹C-20AS-13.56等離子表面處理設備是通過在密封容器中設置兩個電極形成電場,并用真空泵實現一定的真空度。隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,他們發生碰撞而形成等離子體,同時發出輝光,等離子體在電磁場內空間運動,轟擊被處理物體表面,從而達到表面處理、清洗的效果。

二、設備構成

1.腔體及機柜

名稱 品名/型號 數量 主要技術參數
真空腔 304不銹鋼 1 深*寬*高=350mm*250mm*250mm
電極板
3件 /
機柜 鋁型材+涂塑面板 / 深*寬*高=1000mm*700mm*1620mm

2.氣路控制系統


名稱 品名/型號 數量 主要技術參數
真空泵 雙級油旋片泵 1套     內置,極限壓力5*10Pa,抽速240L/min,AC220V,0.65KW
氣體質量流量計 日本小島 2 2路氣體:氮氣,氧氣。氣體量程0~500ml/min
真空計 瑞士INFICON 1 計量范圍0~10000mTorrs
氣體閥門     SMC 3 /
供氣系統 亞太軟管+不銹鋼波紋管路 1 2路氣體供氣,1路氣體放氣

3.等離子及電氣控制系統


名稱 品名/型號 數量 主要技術參數
等離子電源     美國CERES 1

AC220V頻率13.56MHz,功率0~300W可調

低壓控制器件     施耐德、歐姆龍
/ /
腔體溫度裝置 / 1 感應溫度0~150攝氏度
觸摸屏     威綸通MT8121IE 1 液晶屏12分辨率1024*768,32Rasio,600MHz主頻
控制模塊 西門子 / S7200SMART+輸入輸出模擬量擴展模塊
控制軟件 金俊虹 / C-V2.01  Advanced操作系統

三、工藝參數


1、工藝參數可設置,修改,儲存多組參數隨時可調節調用;

2.工藝參數記錄系統、故障報警查詢、操作權限管理;

3、可加載氣體:氮氣、氧氣等共2路進氣;

4.氣體進出方式:手動/自動可任意切換;

5.氣體流量:<=500ml/min;

6.真空度5Pa-100Pa;抽速240L/分鐘;

7.處理時間:抽真空+放氣<=3min

四、設備環境要求

項目 要求
供電 AC220V、6A、接地地線電阻小于0.5歐姆
工作環境 -10℃~+50℃
相對濕度 <94%
工作氣體 無油無水的空氣、氧氣、氮氣、惰性氣體等非易燃易爆的混合氣體

五、實景拍攝及細節展示


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